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半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積設(shè)備腔室清潔終點(diǎn)檢測(cè)解決方案 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積設(shè)備腔室清潔終點(diǎn)檢測(cè)解決方案

半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積設(shè)備腔室清潔終點(diǎn)檢測(cè)解決方案

01 行業(yè)背景

薄膜沉積（如CVD/ALD）是半導(dǎo)體制造的核心工藝之一，需定期使用NF?清潔腔室以去除沉積物。精確控制清潔終點(diǎn)至關(guān)重要：



傳統(tǒng)方法依賴(lài)經(jīng)驗(yàn)時(shí)間控制，但實(shí)際最佳清潔時(shí)間受沉積厚度、溫度、壓力等因素影響，且參數(shù)可能漂移。因此，多數(shù)工藝會(huì)延長(zhǎng)清潔時(shí)間以確保徹底清潔，但造成資源浪費(fèi)。

02 應(yīng)用需求


Johnson等（2004）提出通過(guò)監(jiān)測(cè)SiF?分壓確定清潔終點(diǎn)。紅外氣體傳感器因其高實(shí)時(shí)性和可靠性，已成為主流檢測(cè)手段。



NF?與沉積物反應(yīng)生成SiF?氣體，其分壓變化可反映清潔狀態(tài)：



03 解決方案

四方儀器作為國(guó)際領(lǐng)先的紅外氣體傳感器制造商，針對(duì)薄膜沉積設(shè)備清潔終點(diǎn)檢測(cè)需求，推出SiF?、WF6紅外氣體傳感器。


04 技術(shù)優(yōu)勢(shì)

雙光束紅外（NDIR）技術(shù)
電調(diào)制光源+雙通道探測(cè)器，抗干擾能力強(qiáng)

環(huán)境適應(yīng)性
參考通道補(bǔ)償溫濕度及交叉氣體干擾

高精度
量程0~200 mTorr，準(zhǔn)確度≤±1.0% F.S.
響應(yīng)時(shí)間T90≤2秒
05 相關(guān)產(chǎn)品
紅外氣體傳感器Gasboard-2060
紅外氣體傳感器Gasboard-2060
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器Gasboard-2061
紅外氣體傳感器Gasboard-2061
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器Gasboard-2060
紅外氣體傳感器Gasboard-2060
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
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